等离子体气相沉积的优缺点
半导体中的darc代表什么？
半导体中的darc代表什么？
介电抗反射涂层(Dielectric Anti Reflective Coating，DARC)。
通过等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)在位于晶元最上层的BARC层的上表面生成DARC层，光刻胶层位于DARC层的上表面，PR层上表面可选择的生成顶部防反射涂层
PECVD中射频发生器为什么会有反射损耗，阻抗匹配的原理是什么？
匹配阻抗，减少反射，其中的射频反射是怎么导致的？
要了解pECVD反射损耗，就要了解PECVD(等离子体增强气相沉积)的实质，表面由减反射膜和钝化薄膜组成，反射膜与其厚度的乘积等于四分之一入射波长，第二界面反回第一界面反射光相位相差为180度，形成相消干涉，如果控制反射率与厚度乘积等于太阳光最强的蓝光波长的四分之一左右就可增加半导体对太阳光的吸收作用。
其抗匹配原理根据用户负荷变化而调节自身的电容或电感，达到阻抗匹配的目的，以减少反射的目的。
胺基特性？
氨基（Amino）是有机化学中的基本碱基，所有含有氨基的有机物都有一定碱的特性，由一个氮原子和两个氢原子组成，化学式-NH2。如氨基酸就含有氨基，有一定碱的特性。氨基是一个活性大、易被氧化的基团。在有机合成中需要用易于脱去的基团进行保护。简单说几种：1、酰化保护，即用酸酐保护2、用苄基保护3、手性化合物常用CBZ,BOC,FMOC等保护氨基酸
中文名
氨基
外文名
amino
基本形式
（—NH2）
所属领域
化学、生物
组成
由一个氮原子和两个氢原子构成
酸碱特征
碱性
常见形式
氨基酸、铵盐
简介
概述
氨基是有机化学中的基本碱基，所有含有氨基的有机物都有一定碱的特性，由一个氮原子和两个氢原子构成，化学式-NH2。如氨基酸就含有氨基，有一定碱的特性。氨基是一个活性大、易被氧化的基团。在有机合成中需要用易于脱去的基团进行保护。简单说几种：1、酰化保护，即用酸酐保护； 2、用苄基保护； 3、手性化合物常用CBZ，BOC，FMOC等保护氨基酸，氨基显正电性，是斥电子集团，在氨基酸合成多肽时，氨基能与羧基发生脱水缩合。
基本形式：（-NH2）
氨基转移反应
实验原理
氨基移换酶也称转氨酶,它能催化α-氨基酸的氨基与α-酮酸的α-酮基互换，这种作用称为氨基移换作用。它在生物体内蛋白质的合成与分解等中间代谢中，在糖、脂肪、蛋白质三类物质代谢的相互联系、相互转化上，都起着很重要的作用。任何一种氨基酸进行转氨作用时，都由其专一的转氨酶催化。它们的最适pH接近7.4。在各种转氨酶中，以谷氨酸—草酰乙酸转氨酶（简称谷草转氨酶、GOT）及谷氨酸—丙酮酸转氨酶（简称谷丙转氨酶、GPT）活力最强。
试剂与器材
解剖器具、离心机、恒温水浴、干燥箱、台秤、层析系统等。
磷酸缓冲液（pH7.4）、1%谷氨酸溶液（用KOH中和至中性）、1%丙酮酸溶液（用KOH中和至中性）、0.1%碳酸氢钾溶液、0.05%碘乙酸溶液、15%三氯醋酸溶液、标准丙氨酸溶液(0.1%)、标准谷氨酸溶液(0.1%)、0.1%水合茚三酮乙醇溶液、酚溶剂。
操作方法
将兔击晕，迅速解剖，取出肝脏，在低温条件下剪碎。称取匀浆后，离心取上清液，即为制备的酶液。体外氨基移换反应。纸上层析法检查每人4个点（标准丙氨酸溶液、标准谷氨酸溶液、对照上清液、样品上清液）。点样放入层析罩内。用被酚所饱和的水溶液，平衡后，用带小漏斗的玻璃管从层析罩上加饱合酚试剂25ml于层析缸内。然后，立即盖紧塞子，当溶剂前沿达到距滤纸上端约2.5cm处，取出滤纸，晾干或吹干，以除去酚溶剂，喷洒0.1%茚三酮乙醇溶液，放入烘箱中显色氨基酸与茚三酮的反应，在滤纸上呈现紫红色斑点。
关键步骤与注意事项
① 取动物新鲜组织制备酶液，防止酶失活。
② 加碘乙酸抑制酶解作用。
相关资料
氨基膜
氨基膜是一种重要的生物过渡材料，在化学作用下，氨基膜被活化而具有固定生物分子的作用。使用氨基薄膜对材料表面修饰的研究越来越普遍。本文采用射频磁控溅射法制备金刚石薄膜，并使用磁过滤等离子体化学气相沉积法，对类金刚石薄膜进行表面氨摹改性，使其具有良好的生物兼容性，从而拓展其作为生物保护材料在生物传感器中的应用。
类金刚石薄膜的表面修饰
磁过滤等离子体化学气相沉积的实验装置由真空系统、放电系统、等离子体磁过滤系统以及外围电源组成。通过调节各项参数(氮气与氢气的体积比、励磁电流大小、沉积功率)，控制对类金刚石膜表面进行氨基改性的工艺条件：励磁电流8 A；放电电压1.8 kV；放电电流2 mA；N2与H2的体积比为1：2，沉积气压：30 Pa；沉积时间：30 min。